氬氣的主要應用於焊接、不鏽鋼製造、冶煉，還用於半導體製造工藝中的化學氣相澱積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結等。用作ICP，氣相色譜儀等儀器的載氣，標準氣、平衡氣、零點氣等。
