產品名稱: 四氟化碳
其他名稱: 四氟甲烷、R14、tetrafluoromethane、carbon tetrafluoride
分子式: CF4
UN No. UN1956
CAS No. 75-73-0
產品純度:99.99~99.999%
包裝說明: 47L DOT鋼瓶，鋼瓶尺寸23 × 130cm，316L SS材質閥門，閥門型號CGA660；40L高壓無縫鋼瓶，淨重30kg/瓶，瓶頭閥是銅質閥門是QF-2，出口螺紋是G5/8
產品說明: 四 氟化碳是不燃燒的無色、無味的壓縮氣體，充裝于四氟化碳鋼瓶中，飽和蒸汽壓約壓力2000 psig。四氟化碳是目前微電子工業中用量 等離子蝕刻氣體，可廣氾應用於硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清 洗，太陽能電池的生產，激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、洩漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態，印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。由於四氟化碳的化學穩定 性，四氟化碳可用於金屬冶煉，例如：銅、不鏽鋼，碳鋼、鋁、蒙乃爾等；還可用於塑料行業；如：合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。
注意事項: 四 氟化碳是不燃性壓縮氣體。儲存於陰涼、通風倉間內。倉內溫度不宜超過60℃。遠離火種、熱源。防止陽光直射。應與易燃或可燃物分開存放。驗收時要注意品 名，注意驗瓶日期， 倉的先發用。搬運四氟化碳時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。洩漏時，應迅速撤離洩漏污染區人員至上風處，並進行隔離，嚴格限制出 入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般作業工作服。盡可能切斷洩漏源。合理通風，加速擴散。如有可能，即時使用。漏氣容器要妥善處理，修復、檢 驗后再用。
四氟化碳的物理化學性質
分子量：88.005
熔點(101.325kPa)： -186.8℃
沸點(101.325kPa)： -128.0℃
液體密度(-127.94℃，101.325kPa)：1603kg/m3
氣體密度(0℃，101.325kPa)： 3.946 kg/m3
相對密度(氣體，0℃，101.325kPa)： 3.05
氣液容積比(15℃，100kPa)：436 L/L
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2747m3/kg
臨界溫度： -45.6℃
臨界壓力： 3739kPa
臨界密度： 629kg/m3
壓縮係數：
溫度℃ |
壓縮係數
|
|
100kPa
|
1000kPa
|
5000kPa
|
10000kPa
|
|
1 5
|
0.9981
|
0.9763
|
0.7832
|
0.6058
|
|
50
|
0.9988
|
0.9866
|
0.8717
|
0.7637
|
熔化熱(-186.8℃)： 7.609 kJ/kg
氣化熱(-127.94℃，101.325kPa)： 135.65 kJ/kg
比熱容(氣體，25℃，101.325kPa)：Cp=696 J/(kg·K)
Cv=602J/(kg·K)
比熱比(氣體，25℃，101.325kPa)：Cp/Cv=1.157
蒸氣壓(-180.65 C)：0.20 kPa
(-120℃)： 165 kPa
(-50℃)： 3220 kPa
粘度(101.325kPa，0℃，氣體)：0.0161 mPa·S
(-60.0℃，液體)：0.170 mPa·S
表面張力(-80.0℃)： 6.4 mN/m
導熱係數(101.325kPa，0℃)：0.01503 w/(m·K)
(液體，-60.0℃)：0.07196 w/(m·K)
折射率(-73℃)： 1.151
四 氟化碳在常溫常壓下為無色無臭有輕微醚味的氣體。空氣中不燃燒，是比較穩定的無毒物質。但是在高溫時，或與可燃氣體一同燃燒時，分解出有毒的氟化物。在 1000℃以上能與二氧化碳形成羰基氟。微溶于水，在25℃，101.325kPa時，水中溶解度為0.0015%(重量)。有輕微的水解作用。
